| Schutzschicht-Material | Geeigneter Spektralbereich | Eigenschaften |
| MgF₂ | Ultraviolett bis sichtbar (optimal) | Hohe Härte, gute Transmission im UV-Bereich, jedoch mäßige Feuchtigkeitsbeständigkeit (Schichtdicke ca. λ/4, λ=550nm). |
| SiO₂ | Sichtbar bis Infrarot | Gute chemische Stabilität, kratzfest, jedoch starke UV-Absorption (Schichtdicke muss optimiert werden). |
| Al₂O₃ | Breitband | Hergestellt durch Atomlagenabscheidung (ALD), ultradünn und dicht, jedoch höhere Kosten. |
86-0431-87911611