Какие типы ультрафиолетовых полосовых фильтров предлагает компания Ютай Оптика?
(1) Узкополосные УФ BPF
FWHM: обычно 2-20 нм (например, 254±5 нм, 365±2 нм).
Блокировка (OD): оптическая плотность в других УФ-диапазонах и видимой области до OD4-OD6 (т.е. пропускание <0,01%-0,0001%).
Области применения:
УФ-флуоресцентное детектирование (например, анализ DNA).
УФ-литография (например, 365 нм i-line литография).
Мониторинг озона (254 нм обнаружение ламп Hg).
(2) Широкополосный УФ BPF
FWHM: обычно 30-100 нм (например, 280-400 нм).
Глубина среза (OD): видимая область OD3-OD5.
Области применения:
УФ-визуализация (например, УФ-микроскопия).
УФ-отверждение (например, фильтрация УФ-светодиодных источников света).
Мониторинг УФ-излучения в окружающей среде (обнаружение UVA/UVB).

(3) Фильтры глубокого ультрафиолета (DUV) (<300 нм)
Типичная длина волны: 193 нм (эксимерный лазер ArF), 248 нм (эксимерный лазер KrF).
Области применения:
Литография полупроводников (DUV-литография).
Ультрафиолетовая рамановская спектроскопия.