禹泰光学的紫外(UV)带通滤光片有哪些种类?
(1) 窄带紫外滤光片(Narrowband UV BPF)
带宽(FWHM):通常 2-20nm(如 254±5nm、365±2nm)。
截止深度(OD):紫外其他波段和可见光区域的光密度(OD)可达 OD4-OD6(即透过率 <0.01%-0.0001%)。
应用:
紫外荧光检测(如DNA分析)。
紫外光刻(如365nm i-line光刻)。
臭氧监测(254nm Hg灯检测)。
(2) 宽带紫外滤光片(Broadband UV BPF)
带宽(FWHM):通常 30-100nm(如 280-400nm)。
截止深度(OD):可见光区域 OD3-OD5。
应用:
紫外成像(如紫外显微镜)。
紫外固化(如UV LED光源过滤)。
环境紫外辐射监测(UVA/UVB检测)。
(3) 深紫外(DUV)滤光片(<300nm)
典型波长:193nm(ArF准分子激光)、248nm(KrF准分子激光)。
应用:
半导体光刻(DUV光刻机)。
紫外拉曼光谱。